GB/T 14144-1993
硅晶體中間隙氧含量經(jīng)向變化測量方法
Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
GBT14144-1993, GB14144-1993
2010-06
- 標準號
- GB/T 14144-1993
- 別名
- GBT14144-1993, GB14144-1993
- 發(fā)布
- 1993年
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 替代標準
- GB/T 14144-2009
- 當前最新
- GB/T 14144-2009
- 適用范圍
- 本標準規(guī)定了硅晶體中間隙氧含量徑向變化的測量方法。 本標準適用于室溫電阻率大于0.1Ω·cm的硅晶體中間隙氧含量徑向變化的測量。測量范圍為3.5×1015at·cm3至間隙氧在硅中的最大固溶度。