T/ZSA 39-2020
石墨烯測試方法 功函數(shù)的測定 紫外光電子能譜法

Characterization of Graphene - Work function - Ultraviolet photoelectron spectroscopy (UPS) method

標準號

T/ZSA 39-2020

發(fā)布

2020年

發(fā)布單位

中國團體標準

當前最新

T/ZSA 39-2020

 

 

適用范圍

導電薄膜功函數(shù)的確定在顯示器件應用時起到至關(guān)重要的作用。隨著基于石墨烯等新材料技術(shù)的柔性顯示器的批量應用，準確測定石墨烯柔性導電薄膜功函數(shù)在產(chǎn)業(yè)化方面的需求越來越大。 目前為止主流的功函數(shù)測試方法是開爾文探針力顯微鏡（KPFM）法。該方法準確，且可同時獲得測試范圍內(nèi)的材料形貌等信息，因此被市場廣泛采用，用來測試上一代非柔性顯示器件中氧化銦錫（ITO）玻璃的功函數(shù)。KPFM方法的缺點是測試時間相對較長，且測試范圍較小，通常為幾十至幾百平方微米。 于石墨烯薄膜的缺陷度較高，因此功函數(shù)在膜片中的分布均勻性較ITO玻璃低。此時，光電子能譜法（UPS法）測試功函數(shù)的優(yōu)點逐漸顯現(xiàn)。首先，UPS法的最大測試范圍可至2 mm╳2 mm，一定程度上規(guī)避了KPFM過于微觀的特性。其次，UPS測試便捷、快速，可以在幾分鐘內(nèi)得到測試結(jié)果。此外，UPS法還能同時得到樣品的能帶信息。 因此，UPS法測功函數(shù)可作為KPFM方法的有益補充。KPFM方法適用于對于研發(fā)等對微觀精度要求高的場合，UPS方法可快速準確獲得宏觀薄膜的整體功函數(shù)情況，適用于批量交付產(chǎn)品中的質(zhì)量控制。 本文件規(guī)范了UPS法測功函數(shù)的方法，以規(guī)范UPS法測功函數(shù)的基本操作，使此方法在以柔性顯示器件為首的產(chǎn)業(yè)化進程中更好地發(fā)揮作用。

專題

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