GB/T 24581-2022
硅單晶中III、V族雜質(zhì)含量的測(cè)定 低溫傅立葉變換紅外光譜法
Test method for Ⅲ and Ⅴ impurities content in single crystal silicon—Low temperature FT-IR analysis method
GBT24581-2022, GB24581-2022
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- GB/T 24581-2022
- 別名
- GBT24581-2022, GB24581-2022
- 發(fā)布
- 2022年
- 總頁數(shù)
- 12頁
- 發(fā)布單位
- 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
- 當(dāng)前最新
- GB/T 24581-2022
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 14264 GB/T 29057 GB/T 8322
- 被代替標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 24581-2009
- 適用范圍
- 本文件描述了用低溫傅立葉變換紅外光譜法測(cè)定硅單晶中Ⅲ、Ⅴ族雜質(zhì)含量的方法。 本文件適用于硅單晶中的Ⅲ、Ⅴ族雜質(zhì)鋁(Al)、銻(Sb)、砷(As)、硼(B)、鎵(Ga)、銦(In)和磷(P)含量的測(cè)定,各元素的測(cè)定范圍(以原子數(shù)計(jì))為1.0×1010cm-3 ~4.1×1014cm-3 。
| 術(shù)語 | 描述 |
|---|---|
| 傅立葉變換紅外光譜儀 Fourier Transform Infrared Spectrometer (FTIR) | 一種用于分析物質(zhì)紅外吸收光譜的儀器，通過干涉圖轉(zhuǎn)換為光譜 |
| 基線校正 Baseline Correction | 在光譜數(shù)據(jù)分析中，調(diào)整基線使其與零水平齊以消除背景干擾的過程 |
GB/T 24581-2022 中提到的儀器設(shè)備
| 千分尺 精度不低于0.01mm | 用于精確測(cè)量樣品厚度的精密量具 |
| 傅立葉變換紅外光譜儀 | 用于硅單晶中Ⅲ、Ⅴ族雜質(zhì)含量的測(cè)定，需進(jìn)行穩(wěn)定性檢查和檢測(cè)器線性度檢查 |