GB/T 1557-2018
硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法
Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
GBT1557-2018, GB1557-2018
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 1557-2018
- 別名
- GBT1557-2018, GB1557-2018
- 發(fā)布
- 2018年
- 總頁數(shù)
- 10頁
- 發(fā)布單位
- 國家市場監(jiān)督管理總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
- 當(dāng)前最新
- GB/T 1557-2018
- 被代替標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 1557-2006
- 適用范圍
- 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用紅外光譜法測定硅單晶晶體中間隙氧含量的方法。 適用于室溫電阻率大于 $0.1~\Omega\cdot\mathrm{cm}$ 的N型硅單晶和室溫電阻率大于 $0.5~\Omega\cdot\mathrm{cm}$ 的P型硅單晶中間隙氧含量的測定。
| 術(shù)語 | 描述 |
|---|---|
| 色散型紅外光譜儀 dispersive infrared spectrophotometer | 使用棱鏡或光柵作為色散元件，通過振幅一波數(shù)光譜圖獲取數(shù)據(jù)的紅外光譜儀。 |
| 傅里葉變換紅外光譜儀 Fourier transform infrared spectrophotometer | 通過傅里葉變換將干涉譜圖轉(zhuǎn)換為振幅一波數(shù)光譜圖來獲取數(shù)據(jù)的紅外光譜儀。 |
| 參比光譜 reference spectrum | 由參考樣品獲得的用于背景扣除或比較的光譜。 |
| 樣品光譜 sample spectrum | 被測試樣品的光譜，通過與參考光譜的比較來分析樣品特性。 |
GB/T 1557-2018 中提到的儀器設(shè)備
| 紅外光譜儀 分辨率應(yīng)達到 $4~\mathrm{cm}^{-1}$ 或更好（傅里葉變換型）；$5~\mathrm{cm}^{-1}$ 或更好（色散型） | 用于測量樣品在特定波數(shù)范圍內(nèi)的吸收特性。 |
| 樣品架 適用于小尺寸樣品的固定裝置 | 確保樣品垂直于紅外光束軸線方向，避免旁路光線干擾。 |
| 厚度測量設(shè)備 精度大于 $0.01\mathrm{mm}$ | 用于精確測量硅片的厚度以保證測試準(zhǔn)確性。 |
| 溫度測量設(shè)備 熱電偶-毫伏計等 | 監(jiān)控測試環(huán)境的溫度，確保其恒定在規(guī)定范圍內(nèi)。 |
| 濕度測試設(shè)備 濕度計等 | 監(jiān)測測試環(huán)境的濕度，確保低于60%以減少干擾因素。 |