Carbon Content of Silicon by Infrared Absorption[7] GB/T35306-2017 硅單晶中碳、氧含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法...
摘要:?單晶硅材料可以用于制造太陽能電池、半導(dǎo)體器件等,由于其應(yīng)用領(lǐng)域的特殊性要求其純度達(dá)到99.9999% 甚至更高。在單晶硅生產(chǎn)過程中由原料及方法等因素難以避免的引入了碳、氧等雜質(zhì),直接影響了單晶硅的性能。因而需對單晶硅材料中的氧碳含量進(jìn)行控制。依據(jù)G B/T 1558-2009和G B/T...
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