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CNS 13624-1995
砷化鎵晶體結(jié)晶完整性檢驗(yàn)法（熔融氫氧化鉀浸蝕法）

Test Methods for Crystallographic Perfection of Gallium Arsenside by Molten Potassium Hydroxide(KOH)Etch Technique


標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
CNS 13624-1995
發(fā)布
1995年
發(fā)布單位
臺(tái)灣地方標(biāo)準(zhǔn)
當(dāng)前最新
CNS 13624-1995
 
 
適用范圍
1.1 本檢驗(yàn)法系用來(lái)判定砷化鎵的晶棒或芯片是否為單晶。如果是單晶，亦可用來(lái)測(cè)量它的蝕孔密度(EPD, Etch Pit Density)和判斷缺陷的本質(zhì)。1.2 本方法適用于蝕孔密度為0到200,000/c㎡砷化鎵單晶。1.3 不管是摻雜或末摻雜及具不同電性之砷化鎵晶體均可適用。試樣正面的垂直方

專(zhuān)題

CNS 13624-1995相似標(biāo)準(zhǔn)

氫氧化鉀 測(cè)試方法


行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)-農(nóng)業(yè)


法國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)

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