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表面 硅

本專題涉及表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)有75條。

國際標(biāo)準(zhǔn)分類中,表面 硅涉及到分析化學(xué)、金屬材料試驗、長度和角度測量、半導(dǎo)體材料、絕緣流體、涂料配料、集成電路、微電子學(xué)、技術(shù)制圖、電子設(shè)備用機(jī)械構(gòu)件、半導(dǎo)體分立器件、無機(jī)化學(xué)、與食品接觸的物品與材料。

在中國標(biāo)準(zhǔn)分類中,表面 硅涉及到基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與通用方法、金屬物理性能試驗方法、基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與通用方法、元素半導(dǎo)體材料、半金屬與半導(dǎo)體材料綜合、電子光學(xué)與其他物理光學(xué)儀器、半金屬、金相檢驗方法、半導(dǎo)體分立器件綜合、化學(xué)、輕金屬及其合金分析方法、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存、基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與通用方法。


國家市場監(jiān)督管理總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

國家質(zhì)檢總局,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • GB/T 31225-2014 橢圓偏振儀測量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法
  • GB/T 29849-2013 光伏電池用硅材料表面金屬雜質(zhì)含量的電感耦合等離子體質(zhì)譜測量方法
  • GB/T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅層厚度的測量 X射線光電子能譜法
  • GB/T 6624-2009 硅拋光片表面質(zhì)量目測檢驗方法
  • GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質(zhì)譜檢測方法
  • GB/T 20176-2006 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜.用均勻摻雜物質(zhì)測定硅中硼的原子濃度
  • GB/T 19921-2005 硅拋光片表面顆粒測試方法
  • GB/T 17169-1997 硅拋光片和外延片表面質(zhì)量光反射測試方法
  • GB/T 6624-1995 硅拋光片表面質(zhì)量目測檢驗方法
  • GB/T 6621-1995 硅拋光片表面平整度測試方法
  • GB/T 32495-2016 表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 硅中砷的深度剖析方法

國際標(biāo)準(zhǔn)化組織,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • ISO 23170-2022 表面化學(xué)分析.深度剖面.用中能離子散射法對硅襯底上納米級重金屬氧化物薄膜進(jìn)行無損深度剖面
  • ISO 23157:2021 氣相色譜法測定氣相二氧化硅表面硅醇基含量
  • ISO 17560:2014 表面化學(xué)分析 - 二次離子質(zhì)譜法 - 硅在硅中深度分析的方法
  • ISO 17560-2014 表面化學(xué)分析.再生離子質(zhì)量的光譜測定.硅中硼的深仿形方法
  • ISO 14706-2014 表面化學(xué)分析 用總反射X-射線熒光(TXRF)測定法測定硅晶片的表面基本的污染
  • ISO 14706:2014 表面化學(xué)分析 - 通過全反射X射線熒光(TXRF)光譜測定硅晶片上的表面元素污染
  • ISO 12406-2010 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜分析法.硅中砷的深度剖析法
  • ISO 12406:2010 表面化學(xué)分析——二次離子質(zhì)譜法——硅中砷的深度剖面分析方法
  • ISO 14237:2010 表面化學(xué)分析——二次離子質(zhì)譜法——用均勻摻雜材料測定硅中硼原子濃度
  • ISO 17331 AMD 1-2010 表面化學(xué)分析.硅晶片加工標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)表面元素收集用化學(xué)方法和及其光分析儀(TXRF)光譜學(xué)測定.修改件1
  • ISO 14237-2010 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜.用均勻摻雜物質(zhì)測定硅中硼的原子濃度
  • ISO 23812:2009 表面化學(xué)分析——二次離子質(zhì)譜法——使用多δ層標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的硅深度校準(zhǔn)方法
  • ISO 23812-2009 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜測定法.使用多δ層參考材料的硅深度校準(zhǔn)方法
  • ISO 17560-2002 表面化學(xué)分析.再生離子質(zhì)量的光譜測定.硅中硼的深仿形方法
  • ISO 14706-2000 表面化學(xué)分析 用總反射X-射線熒光(TXRF)測定法測定硅晶片的表面基本的污染
  • ISO 14237:2000 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜法.使用均勻摻雜材料測定硅中的硼原子濃度
  • ISO 14237-2000 表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 用均勻摻雜物質(zhì)測定硅中硼的原子濃度

英國標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • BS ISO 17560-2014 表面化學(xué)分析.再生離子質(zhì)量光譜測定.硅中硼的深仿形分析法
  • BS EN 60191-6-22-2013 半導(dǎo)體器件的機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)化. 表面安裝半導(dǎo)體器件封裝輪廓圖的一般制備規(guī)則. 硅細(xì)間距球柵格陣列和硅細(xì)間距柵格陣列半導(dǎo)體封裝的設(shè)計指南(S-FBGA和S-FLGA)
  • BS EN 60191-6-22-2013 半導(dǎo)體器件的機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)化. 表面安裝半導(dǎo)體器件封裝輪廓圖的一般制備規(guī)則. 硅細(xì)間距球柵格陣列和硅細(xì)間距柵格陣列半導(dǎo)體封裝的設(shè)計指南(S-FBGA和S-FLGA)
  • BS ISO 12406-2010 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜分析法.硅中砷的深度剖析法
  • BS ISO 12406-2010 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜分析法.硅中砷的深度剖析法
  • BS ISO 14237-2010 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜.用均勻摻雜物質(zhì)測定硅中硼的原子濃度
  • BS ISO 14237-2010 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜.用均勻摻雜物質(zhì)測定硅中硼的原子濃度
  • BS ISO 23812-2009 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜分析法.用多δ層基準(zhǔn)物質(zhì)對硅進(jìn)行深度校準(zhǔn)的方法
  • BS ISO 23812-2009 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜分析法.用多δ層基準(zhǔn)物質(zhì)對硅進(jìn)行深度校準(zhǔn)的方法
  • BS ISO 17560-2002 表面化學(xué)分析.再生離子質(zhì)量光譜測定.硅中硼的深仿形分析法
  • BS EN 1388-1-1996 與食品接觸的材料和物品.硅化表面.第1部分:測定從陶瓷品中釋放的鉛和鎘
  • BS EN 1388-2-1996 與食品接觸的材料和物品.硅化表面.第2部分:陶瓷品除外的測定從硅化表面釋放的鉛和鎘

德國標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • DIN 51456-2013 半導(dǎo)體技術(shù)用材料的試驗. 使用電感耦合等離子體質(zhì)譜法 (ICP-MS) 通過水分析解決方案的多元素測定進(jìn)行硅晶片的表面分析
  • DIN EN 60191-6-22-2013 半導(dǎo)體器件的機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)化. 第6-22部分: 表面安裝半導(dǎo)體器件封裝輪廓圖的一般制備規(guī)則. 硅細(xì)間距球柵格陣列和硅細(xì)間距柵格陣列半導(dǎo)體封裝的設(shè)計指南(S-FBGA和S-FLGA) (IEC 60191-6-22-2012); 德文版本EN 60191-6-22-2013
  • DIN EN 1388-1-1995 與食品接觸的材料和物品.硅化表面.第1部分:測定從陶瓷制品中釋放的鉛和鎘; 德文版本 EN 1388-1:1995
  • DIN EN 1388-2-1995 與食品接觸的材料和物品.硅化表面.第2部分:除陶瓷制品外測定從硅化表面釋放的鉛和鎘; 德文版本 EN 1388-2:1995

國際電工委員會,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • IEC 60191-6-22:2012 半導(dǎo)體器件的機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)化第6-22部分:表面安裝半導(dǎo)體器件封裝外形圖繪制的一般規(guī)則半導(dǎo)體封裝的設(shè)計指南硅細(xì)間距球柵陣列和硅細(xì)間距地柵陣列(S-FBGA和S-FLGA)
  • IEC 60191-6-22-2012 半導(dǎo)體器件的機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)化.第6-22部分:表面安裝半導(dǎo)體器件封裝外形圖繪制的通用規(guī)則.硅細(xì)間距球陣列和硅細(xì)間距柵格陣列半導(dǎo)體封裝的的設(shè)計指南(S-FBGA和S-FLGA)

法國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • NF X21-070-2010 表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜.用均勻摻雜物質(zhì)測定硅中硼的原子濃度.
  • NF X21-066-2009 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜分析法.用多δ層參考物質(zhì)對硅進(jìn)行深度校準(zhǔn)的方法
  • NF X21-051-2006 表面化學(xué)分析.再生離子質(zhì)量的光譜測定.硅中硼的深仿形方法
  • NF D25-501-2-1996 接觸食品的材料和物品.硅化表面.第2部分:除陶瓷品外測定從硅化表面釋放的鉛和鎘
  • NF D25-501-1-1996 與食品接觸的材料和器具.硅酸酯表面.第1部分:從陶瓷器具中釋放的鉛和鎘的測定

日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)調(diào)查會,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • JIS K0164-2010 表面化學(xué)分析.再生離子質(zhì)量的光譜測定.硅中硼的深壓型用方法
  • JIS K0148-2005 表面化學(xué)分析.用總反射X-射線熒光(TXRF)測定法測定硅晶片的表面主要污染物
  • JIS K0143-2000 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜法.利用均勻摻雜材料測定硅中硼原子濃度

韓國標(biāo)準(zhǔn),關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • KS D ISO 14706-2003 表面化學(xué)分析.用全反射X射線熒光光譜法測定硅圓片表面主要污物
  • KS D ISO 14706-2003 表面化學(xué)分析.用全反射X射線熒光光譜法測定硅圓片表面主要污物
  • KS D ISO 14237-2003 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜法.使用非均一摻雜材料的硅中硼原子的濃度測定
  • KS D ISO 14237-2003 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜法.使用非均一摻雜材料的硅中硼原子的濃度測定
  • KS D ISO 17560-2003 表面化學(xué)分析.再生離子質(zhì)量的光譜測定.硅中硼的深仿形方法
  • KS D ISO 17560-2003 表面化學(xué)分析.再生離子質(zhì)量的光譜測定.硅中硼的深仿形方法

,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • KS D ISO 17560-2003(2018) 表面化學(xué)分析-二次離子質(zhì)量分析-硅內(nèi)硼深度分布測量方法
  • KS D ISO 14237-2003(2018) 表面下學(xué)分析-二次離子質(zhì)量分析-硅內(nèi)均勻添加的硼原子濃度的測量方法

美國材料與試驗協(xié)會,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • ASTM D1993-2003(2013)e1 采用多點BET氮吸收法測定析出的硅表面面積的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法
  • ASTM F154-00 鏡面硅表面結(jié)構(gòu)和污染物識別的標(biāo)準(zhǔn)指南
  • ASTM F154-2000 鏡面硅表面存在的結(jié)構(gòu)和污染物識別的標(biāo)準(zhǔn)指南
  • ASTM F1617-98 用二次離子質(zhì)譜法測量硅和外延襯底上表面鈉鋁鉀鐵的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法
  • ASTM F1617-1998 用次級離子質(zhì)譜測定法(SIMS)測定表面鈉,鋁,鉀-硅和EPI襯底的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法
  • ASTM F672-1988(1995)e1 用分布電阻探頭測量硅晶片垂直于表面的縱斷面電阻率的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法

(美國)福特汽車標(biāo)準(zhǔn),關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • FORD WSD-M1A319-A1-2002 表面打磨的閥彈簧用鉻硅合金鋼絲***與標(biāo)準(zhǔn)FORD WSS-M99P1111-A一起使用***

澳大利亞標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會,關(guān)于表面 硅的標(biāo)準(zhǔn)

  • AS ISO 14237-2006 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜測量法.使用均一的絕緣材料測定硅中的硼原子濃度
  • AS ISO 17560-2006 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜測量法.硅中注入硼的深度分布分析法
  • AS ISO 17560-2006 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜測量法.硅中注入硼的深度分布分析法
  • AS ISO 14237-2006 表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜測量法.使用均一的絕緣材料測定硅中的硼原子濃度

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可能用到的儀器設(shè)備

 

TY-9900型ICP等離子體光譜儀

TY-9900型ICP等離子體光譜儀

無錫市金義博儀器科技有限公司

 

Agilent 7900 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

Agilent 7900 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

安捷倫科技(中國)有限公司

 

賽默飛iCAP? TQ ICP-MS等離子體質(zhì)譜儀

賽默飛iCAP? TQ ICP-MS等離子體質(zhì)譜儀

賽默飛色譜與質(zhì)譜分析

 

ICPMS-2030系列電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

ICPMS-2030系列電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

島津企業(yè)管理(中國)有限公司/島津(香港)有限公司

 

 




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