島津X射線衍射儀XRD-6000LabX XRD-6000參考多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。完成石墨的檢測?？梢杂迷陔娮?半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)域中的石墨化度項(xiàng)目。

無定形碳轉(zhuǎn)變成石墨的“石墨化”過程是一個由非晶向晶體轉(zhuǎn)變的過程，通常用所謂“石墨化度”來表征其結(jié)晶度。石墨化度的測試需要精確測定 C(002)的峰位，本文通過摻入硅粉來消除制樣誤差和裝樣誤差，使用島津 X 射線衍射儀，利用 Si(111)實(shí)測峰位和標(biāo)準(zhǔn)峰位的角度差來校正 C(002)角度，精確測定 C(002)峰位，計算出石墨化度。

　　光管類型：陶瓷X光管，Cu靶，NF2KW，BF3KW;光管功率：2.2 kW;焦斑：1.0×10mm(2KW)或2.0×12mm(3KW);zei大管壓：60kV;zei大管流：80mA;

　　測角儀：采用垂直測角儀型

　　掃描方式連續(xù)或步進(jìn)掃描方式，θs—θd聯(lián)動或θs、θd單動方式;

　　zei小步進(jìn)角度0.0001°(θ),0.0002(2θ); 角度重現(xiàn)性0.0001 °(2θ);

　　zei高定位速度 ≥1000°/min。

　　探測器：閃爍

　　閃爍晶體計數(shù)器;動態(tài)范圍≥2×106 cps;

　　技術(shù)參數(shù)

　　X射線發(fā)生器：電流電壓輸出穩(wěn)定性優(yōu)于0.005% (外電壓波動10%)時;X射線防護(hù)： 國際安全認(rèn)證，射線劑量≤1μSv/h。

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注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途